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功能特点
◆ 结构设计合理,工艺技术成熟
◆ 甩干效果好,工艺洁净度高
◆ 震动小,可靠性好,薄片适用
◆ 操作简单,维修方便,整机运行稳定可靠
技术参数
◆ 晶圆尺寸适用于1-12 寸生产线
◆ 碎片率万分之一
应用领域
◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干
设备功能
◆ 设备分单腔与双腔,用于1 寸、2 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12寸标准尺寸晶圆、非标准规格圆片及方片、
硅晶片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、掩模版等各种半导体应用材料湿法工艺甩干。
工艺参数
STEP 工艺 | Step1 | Step2 | Step3 | Step4 | Step5 | Step6 | Step7 | Step8 | Step9 | Step10 |
时间(s) | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 |
转速(r/min) | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 |
冲水 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
吹净 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
氮气 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
氮气加热 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
腔体加热 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
静电消除 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
厂务条件
电压 | 单腔功率 | 氮气压力 | 氮气流量 | 纯水压力 | 纯水流量 | 氮气接口 | 纯水接口 | 排水口径 | 排气口径 |
AC220V/50Hz | 3KW | 0.25-0.35MPa | 115-180L/min | 0.15-0.2MPa | 5-8L/min | 3/8 | 3/8 | DN32 | DN32 |
功能特点
◆ 无刷伺服电机驱动,保证设备稳定可靠及洁净度要求。
◆ 迷宫式氮气密封,腔内与腔外隔离,无接触式密封效果,确保工艺环境要求。
◆ 采用PTFE 气控阀组件,PVDF 管路及接头。
◆ 采用316L 不锈钢材质,表面电解抛光处理。
◆ 冲洗,吹净,吹干,烘干功能,利用高速旋转离心力,把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除,
同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走,使产品表面洁净干燥洁净。
◆ 静电消除功能,产品高速运动时会产生静电,利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。
◆ 电导率监控,监控清洗水质及产品表面残留附着化学试剂及颗粒尘埃过多,不符合甩干前要
求,提示并发出警示,避免不良品进入下道工艺。
◆ 不锈钢加热器氮气加热,加热膜腔体加热,PID 温度精度控制,可选择提前预热。自动清洗
功通能选择,可设定间隔时间,确保设备始终保持洁净状态。
◆ 氮气0.003UM 过滤,确保工艺气体洁净度。
◆ 机械自复位功能,停机待机片盒朝上。
◆ 氮气压力,门密封状态,片盒朝上等条件保护。
◆ 控制单元单独控制,单独运行,操作简单,维修方便。
功能特点
◆ 结构设计合理,工艺技术成熟
◆ 甩干效果好,工艺洁净度高
◆ 震动小,可靠性好,薄片适用
◆ 操作简单,维修方便,整机运行稳定可靠
技术参数
◆ 晶圆尺寸适用于1-12 寸生产线
◆ 碎片率万分之一
应用领域
◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干
设备功能
◆ 设备分单腔与双腔,用于1 寸、2 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12寸标准尺寸晶圆、非标准规格圆片及方片、
硅晶片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、掩模版等各种半导体应用材料湿法工艺甩干。
工艺参数
STEP 工艺 | Step1 | Step2 | Step3 | Step4 | Step5 | Step6 | Step7 | Step8 | Step9 | Step10 |
时间(s) | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 | 0-999 |
转速(r/min) | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 | 0-2500 |
冲水 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
吹净 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
氮气 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
氮气加热 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
腔体加热 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
静电消除 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
厂务条件
电压 | 单腔功率 | 氮气压力 | 氮气流量 | 纯水压力 | 纯水流量 | 氮气接口 | 纯水接口 | 排水口径 | 排气口径 |
AC220V/50Hz | 3KW | 0.25-0.35MPa | 115-180L/min | 0.15-0.2MPa | 5-8L/min | 3/8 | 3/8 | DN32 | DN32 |
功能特点
◆ 无刷伺服电机驱动,保证设备稳定可靠及洁净度要求。
◆ 迷宫式氮气密封,腔内与腔外隔离,无接触式密封效果,确保工艺环境要求。
◆ 采用PTFE 气控阀组件,PVDF 管路及接头。
◆ 采用316L 不锈钢材质,表面电解抛光处理。
◆ 冲洗,吹净,吹干,烘干功能,利用高速旋转离心力,把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除,
同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走,使产品表面洁净干燥洁净。
◆ 静电消除功能,产品高速运动时会产生静电,利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。
◆ 电导率监控,监控清洗水质及产品表面残留附着化学试剂及颗粒尘埃过多,不符合甩干前要
求,提示并发出警示,避免不良品进入下道工艺。
◆ 不锈钢加热器氮气加热,加热膜腔体加热,PID 温度精度控制,可选择提前预热。自动清洗
功通能选择,可设定间隔时间,确保设备始终保持洁净状态。
◆ 氮气0.003UM 过滤,确保工艺气体洁净度。
◆ 机械自复位功能,停机待机片盒朝上。
◆ 氮气压力,门密封状态,片盒朝上等条件保护。
◆ 控制单元单独控制,单独运行,操作简单,维修方便。
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